+7 905 266-43-41

О компании

Компания Поларлайт занимается разработкой спектральных эллипсометров – оптических приборов для бесконтактного измерения толщины, оптических свойств, состава, шероховатости тонких слоев из полупроводников, диэлектриков, металлов. Такие измерения востребованы при массовом производстве солнечных батарей, дисплеев, микросхем и микропроцессоров, при разработке новых технологий напыления тонких слоев из различных материалов.

 

Ellipsometry

В процессе работы эллипсометр измеряет насколько изменилось состояние поляризации света при отражении от исследуемой тонкопленочной структуры под заданным углом θ. В общем случае после отражения, линейно поляризованный свет приобретает эллиптическую поляризацию.

Анализ изменения поляризации позволяет вычислить:

— толщины осажденных слоев

— параметры шероховатости поверхности и границ раздела

— параметры зонной структуры полупроводников

— концентрацию примесей

— состав твердых растворов

— степень микрокристалличности

— степень пористости